ÐблаÑÑи пÑÐ¸Ð¼ÐµÐ½ÐµÐ½Ð¸Ñ Ð²Ð¾Ð»ÑÑÑамовой плаÑÑинÑ:
ÐолÑÑÑÐ°Ð¼Ð¾Ð²Ð°Ñ Ð¿Ð»Ð°ÑÑина Ð¿Ð¾Ð´Ñ Ð¾Ð´Ð¸Ñ Ð´Ð»Ñ Ð¾Ð±ÑабоÑки деÑалей ионной импланÑаÑии и иÑполÑзÑеÑÑÑ Ð´Ð»Ñ Ð¿ÑоизводÑÑва деÑалей иÑÑоÑников оÑвеÑÐµÐ½Ð¸Ñ Ð¸ ÑлекÑÑовакÑÑмного обоÑÑдованиÑ. ÐолÑÑÑÐ°Ð¼Ð¾Ð²Ð°Ñ Ð¿Ð»Ð°ÑÑина Ñакже иÑполÑзÑеÑÑÑ Ð´Ð»Ñ Ð¸Ð·Ð³Ð¾ÑÐ¾Ð²Ð»ÐµÐ½Ð¸Ñ Ð²Ð¾Ð»ÑÑÑамовÑÑ Ð½Ð°Ð³ÑеваÑелÑнÑÑ ÑлеменÑов и волÑÑÑамовÑÑ ÑепловÑÑ ÑкÑанов Ð´Ð»Ñ Ð¿ÐµÑей.
 СпеÑиÑикаÑÐ¸Ñ Ð²Ð¾Ð»ÑÑÑамовой плаÑÑинÑ:
| обознаÑение | пÑоÑеÑÑ | УÑÐ»Ð¾Ð²Ð¸Ñ Ð¿Ð¾ÑÑавки | Ð Ð°Ð·Ð¼ÐµÑ (мм) |
|  |  |  | ÑолÑина |
| Ð1 | /Ð | Ñ Ð¾Ð»Ð¾Ð´Ð½Ð¾ÐºÐ°ÑанÑй (Y) | 0.10-0.20 |
| Â | Â | Â | >0,20-0,40 |
|  |  | гоÑÑÑекаÑанÑй® | >0,40-4,0 |
| Â | Â | Â | >4.0-6.0 |
ÐолÑÑÑÐ°Ð¼Ð¾Ð²Ð°Ñ Ð¿Ð»Ð°ÑÑина ÐÑимеÑи:
| СÑÐµÐ¿ÐµÐ½Ñ | Ð-1 | |
| ÐеÑиÑÑоÑÑ | Фе | 0.002 |
| (%макÑ.) | Си | 0.001 |
| ЦенÑÑ ÑеÑÑиÑикаÑии | 0.0005 | |
| Ðг | 0.0005 | |
| Ðи | 0.001 | |
| Ðн | 0.002 | |
| P | 0.001 | |
| C | 0.002 | |
| O | 0.002 | |
| ÐÑиложение | ÐÐ»Ñ Ð²Ð¾Ð»ÑÑÑамовÑÑ Ñплавов |
ÐÐµÑ Ð²Ð¾Ð»ÑÑÑама в волÑÑÑамовой плаÑÑине ÑоÑÑавлÑÐµÑ Ð±Ð¾Ð»ÐµÐµ 99,95%. У Ð½Ð°Ñ ÐµÑÑÑ ÑобÑÑвеннÑй завод, и Ð¼Ñ Ð¾Ð±ÐµÑпеÑиваем волÑÑÑамовÑй ÐºÐ°Ð±ÐµÐ»Ñ Ð¸ волÑÑÑамовÑÑ Ð¾Ð±ÑабоÑкÑ. ÐÑ Ð¼Ð¾Ð¶ÐµÐ¼ коваÑÑ Ð²Ð¾Ð»ÑÑÑам, молибден, TZM и дÑÑгие меÑаллиÑеÑкие ÑÐ¿Ð»Ð°Ð²Ñ Ð² пÑÑÑÐºÐ°Ñ , пÑÑÑÐºÐ°Ñ , Ð±Ð»Ð¾ÐºÐ°Ñ Ñ Ð²ÑÑокой плоÑноÑÑÑÑ Ð¸ оÑлиÑной обÑабаÑÑваемоÑÑÑÑ. ÐÑ Ð¼Ð¾Ð¶ÐµÐ¼ изгоÑовиÑÑ Ð²Ð¾Ð»ÑÑÑамовÑÑ Ð¿Ð»Ð°ÑÑÐ¸Ð½Ñ Ð¿Ð¾ ÑеÑÑÐµÐ¶Ñ Ð·Ð°ÐºÐ°Ð·Ñика.
